일반기술

반도체 제조용 가열 장치

본 발명은 반도체 제조장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 실리콘 기판 또는 유리 기판과 같은 반도체 소자 제작용 기판을 가열하는 반도체 제조용 램프가열장치에 관한 것으로서, 베이스판과, 상기 베이스판의 일측에 고정되어 전원이 인가되며, 서로 일정한 간격을 가지며 배치된 다수개의 램프소켓과, 서로 인접하는 상기 램프소켓에 각각 형성된 한 쌍의 커넥터구멍에 삽입 고정되는 한 쌍의 전원인가커넥터를 가지는 다수개의 램프를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조용 램프가열장치를 제공함으로써, 다수개의 램프에 전원을 인가하기 위하여 전선을 따로 설치하지 않고 한꺼번에 전원을 인가 또는 제어할 수 있다.본 발명은 다수개의 램프를 설치할 수 있는 램프소켓을 이용함으로써, 다수개의 램프에 전원을 인가하기 위하여 전선을 따로 설치하지 않고 한꺼번에 전원을 인가 또는 제어할 수 있다.또한, 본 발명은 나사를 이용해 램프를 고정함으로써 램프의 계속된 가열에 의해 열이 발생하더라도 램프를 안정적으로 고정지지할 수 있다.본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 다수개의 램프소켓을 설치하고 서로 다른 램프소켓의 커텍터구멍에 전원인가커넥터를 고정시킴으로써, 다수개의 램프를 간단하게 설치할 수 있는 반도체 제조용 램프가열장치를 제공하는 데 있다. 본 발명의 다른 목적은, 전원인가커넥터를 나사를 이용하여 고정시킴으로써, 램프를 안정적으로 고정시킬 수 있는 반도체 제조용 램프가열장치를 제공하는 데 있다.