일반기술

초소형 광스위칭 장치

본 발명은 초소형 광스위칭 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 미소기전소자(MEMS) 기술 중 자외선-리가(UV-LIGA) 공정 기술을 이용하여 저전압 대변위 구동이 가능케 하는 초소형 광스위칭 장치에 관한 것이다.광통신에 MEMS 기술을 이용한 광스위칭 소자가 응용됨에 따라 다양한 스위칭 방식이 개발되었다. 기존의 광스위칭 소자로는 구동기와 일체형으로 제작된 거울면이 기판에 수평하게 이동하는 방식 즉, 반대로 기판에 수직하게 이동하는 방식이 활용한 것들이 보고된바 있다.기판에 수평하게 이동하는 방식을 이용한 광스위칭 장치의 경우 수직하게 이동하는 경우에 비해 큰 구동 전압을 필요로 하지만 구동 변위에 있어서는 수평 방향 구동 방식이 큰 이점을 갖는다.본 발명에 의한 초소형 광스위칭 장치는 구조적 특성으로 인해 저전압 대변위 구동이 가능하므로 N × N 광스위치로의 응용이 가능하다.또한, 본 발명의 광스위치는 거울면, 상부 전극과 하부 전극으로 이뤄진 간단한 구조로 광스위치에 응용하기에 매우 적합하다. 기존의 광스위치와 달리 거울면과 상부 전극을 힌지(hinge) 구조로 연결하지 않고 도금에 의해 접합시키므로 간단한 제작이 가능하며, 추가적인 공정을 요하지 않는다. 따라서 대량 생산에 매우 적합하다.