일반기술

재사용 가능한 컴포넌트를 기반으로 한 ＳＥＣＳ 통신 소프트웨어 합성방법

재사용 가능한 컴포넌트를 기반으로 한 SECS 통신소프트웨어 합성방법에 관한 것으로서, GEM ＆ Application 계층, SECS Ⅱ 계층 및 SECS Ⅰ계층으로 이루어진 SECS 통신 프로토콜 환경에서 컴퓨터로 반도체 제조공정을 제어 및 관리하는 반도체 제조공정 관리방법에 있어서, 상기 GEM＆Application 계층에서 단순화된 그래픽 편집기 형태의 오퍼레이션 시나리오작성기를 사용하여 반도체 제조 공정의 제어 및 관리를 위한 시나리오를 작성한 후 전달 처리하는 반도체 제조공정 관리과정과; 상기 SECS Ⅱ 계층에서 단순화된 그래픽 형태의 SECS Ⅱ 메시지 정의 작성기를 사용하여 작성된 시나리오에 정의된 작업들의 진행에 필요한 SECS Ⅱ 메시지들을 생성하는 메시지 생성과정과; 상기 SECS Ⅱ 메시지 생성과정을 통해 생성된 SECS Ⅱ 메시지를 송수신하는 SECS Ⅰ계층에서의 메시지 송신 및 수신 처리과정을 수행함으로써 단순화된 그래픽 편집기 형태로 된 오퍼레이션 시나리오 작성기 및 SECS Ⅱ 메시지 정의 작성기 등의 컴포넌트 조립식 작성기를 사용하여 새로운 SECS 통신시스템을 손쉽게 생성할 수 있다본 발명은 GEM ＆ Application 계층, SECS Ⅱ 계층 및 SECS Ⅰ계층으로 이루어진 SECS 통신 프로토콜 환경에서 컴퓨터로 반도체 제조공정을 제어하고 관리하는 반도체 제조공정 관리방법에 있어서,상기 GEM ＆ Application 계층에서 단순화된 그래픽 편집기 형태의 오퍼레이션 시나리오 작성기를 사용하여 반도체 제조공정의 제어 및 관리를 위한 시나리오를 작성한 후 전달 처리하는 반도체 제조공정 관리과정(S1)과; 상기 SECS Ⅱ 계층에서 단순화된 그래픽 형태의 SECS Ⅱ 메시지 정의 작성기를 사용하여 작성된 시나리오에 정의된 작업들의 진행에 필요한 SECS Ⅱ 메시지들을 생성하는 메시지 생성과정(S2)과; 상기 SECS Ⅱ 메시지 생성과정을 통해 생성된 SECS Ⅱ 메시지를 송수신하는 SECS Ⅰ계층에서의 메시지 송신 및 수신 처리과정(S3)을 수행함으로써, 반도체 제조공정에 따라 단순화된 그래픽 편집기 형태의 오퍼레이션 시나리오 작성기 및 SECS Ⅱ 메시지 정의 작성기 등의 컴포넌트 조립식 작성기를 사용하여 새로운 SECS 통신 소프트웨어를 손쉽게 생성할 수 있다. 또한, 본 발명은 객체지향적인 컴포넌트 기반 구조를 적용하여 기존의 객체지향적인 프로그래밍 기법이 갖는 장점을 그대로 수용함으로써 기존의 SECS 통신 소프트웨어에서 나타나는 소프트웨어 재사용성의 저하라는 단점을 극복할 수 있다. 또한, 본 발명의 SMDL은 종래 GW Associate 사의 SML이 반도체 제조장비 특성 및 제조공정에 따른 다양한 메시지 정의를 효과적으로 지원하지 못하는 단점을 보완한 것으로 새로운 태그를 추가하여 동적으로 변화하는 규칙성을 갖는 메시지 구조 정의 및 불규칙적인 메시지의 정의도 효과적으로 처리할 수 있는 장점이 있다.즉, 본 발명의 재사용 가능한 소프트웨어 컴포넌트 합성기법은 종래 기술과 비교해 볼 때 이미 만들어진 소프트웨어 컴포넌트를 재사용함으로써 소프트웨어 개발 시간을 단축시킬 수 있고, 프로그래머의 노력을 감소시킬 수 있다. 또한, 정상적으로 실행되는 소프트웨어 컴포넌트를 재사용함으로써 신뢰성을 보장받을 수 있으며 그 결과, 시스템 테스팅의 노력이 감소되고, 유지보수가 용이해지는 등의 여러 이점을 얻을 수 있다