일반기술

마이크로 가스센서 및 그의 제조방법

본 발명은 마이크로 가스센서 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 하부기판과; 상기 하부기판의 상부에 형성되며, 상호 비접촉되어 배열된 감지전극 패턴 및 히터전극 패턴과; 개구가 형성되어 있고, 상기 개구에 의해 상기 감지전극 패턴 및 히터전극 패턴의 일부를 노출시키며 상기 하부기판의 상부에 본딩되는 상부기판과; 상기 개구에 충진되는 가스 감지물질로 구성함으로써, 가스 감지물질의 접착력을 우수히 하고, 감도를 증대시킬 수 있는 소자의 열특성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다. 더불어, 구조가 간단하여 소자의 사이즈를 초소형으로 형성할 수 있는 효과가 있다.후막형 마이크로 가스센서의 감지막은 사진식각공정이 포함된 스퍼터링(Sputtering)공정 및 이빔(E-Beam)공정으로 형성함으로써, 감지막의 조성을 맞추기 어렵고, 감지물질이 규칙적인 분자의 배열로 인하여 감도가 떨어지는 단점이 있다.이에 본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 하부기판에 히터전극과 감지전극을 형성하고, 상부기판에 형성된 개구로 상기 히터전극과 감지전극을 노출시키며 상부기판을 하부기판에 본딩하고, 상기 개구에 가스 감지물질을 충진함으로써, 가스 감지물질의 접착력을 우수히 하고, 감도를 증대시킬 수 있는 마이크로 가스센서 및 그의 제조방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 바람직한 양태(樣態)는, 하부기판과; 상기 하부기판의 상부에 형성되며, 상호 비접촉되어 배열된 감지전극 패턴 및 히터전극 패턴과; 개구가 형성되어 있고, 상기 개구에 의해 상기 감지전극 패턴 및 히터전극 패턴의 일부를 노출시키며 상기 하부기판의 상부에 본딩되는 상부기판과; 상기 개구에 충진되는 가스 감지물질로 구성된 마이크로 가스센서가 제공된다.상기한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 바람직한 다른 양태(樣態)는, 상부기판에 포토레지스트층을 형성하고, 상기 포토레지스트층에 마스크를 이용하여 노광시키고 제거하는 사진식각공정을 수행하여, 복수의 개구가 형성된 포토레지스트 패턴을 형성하는 제 1 단계와;상기 포토레지스트 패턴을 마스크로 상부기판을 제거하여 복수의 개구를 형성하는 제 2 단계와;상호 비접촉되어 배열된 감지전극 패턴 및 히터전극 패턴이 형성된 하부기판의 상부에 상기 개구에 의해 상기 감지전극 패턴 및 히터전극 패턴의 일부가 노출되도록 상부기판을 본딩하는 제 3 단계와;상기 각각의 개구에 마이크로 주사기(Micro syringe)를 이용하여 가스 감지물질을 충진하는 제 4 단계로 구성된 마이크로 가스센서의 제조방법이 제공된다.