일반기술

다종 가스 분압 측정소자 및 측정방법

본 발명은 초소형의 다종 가스 분압 측정소자 및 측정방법에 관한 것으로, PZT캐패시터를 각각 포함하고 있는 복수의 동일크기의 캔틸레버들이 지지대에 연결되어 부상되어 있고, 상기 복수의 캔틸레버들상의 각각의 단부에는 각각 특정 가스를 흡수하여 반응할 수 있는 가스 감지막이 형성되어 있도록 구성함으로서, 캔틸레버에 특정가스 반응 감지막을 형성하고, 특정가스의 감지로 발생된 휘어짐의 변위 및 공진주파수의 변화로 특정 가스의 압력을 측정하여 반도체 제조공정을 정밀히 수행할 수 있는 효과가 있을 뿐만 아니라, 초소형으로 제작이 가능하여 손으로 들고 다니거나 로봇에 의해 이동 가능하여 화학전 및 대기 환경에서 유해 가스의 분압을 측정할 수 있는 효과가 있다.반도체 압력센서는 밀폐된 체적내 가스들의 전체압력을 측정하는 것으로, 다양한 종류의 가스들 각각의 분압은 측정하지 못하는 단점이 있다. 더불어, 반도체 제조 공정에서, 다양한 종류의 반응성 가스들이 반도체 제조장비의 챔버에 공급되어, 반도체 웨이퍼의 상부에 원하는 층을 형성하여 소자를 제조할 때, 다종의 반응성 가스들 각각은 정밀한 가스량이 조절되어 챔버에 공급되어야만 최적의 반도체 소자를 제조할 수 있다.이렇게 챔버에 각각의 반응성 가스들의 가스량을 조절하려면, 챔버의 전체 가스 압력보다는 공급되는 각각의 가스 분압을 알아야 한다.그런데, 반도체 제조장비에는 통상적인 압력 게이지가 부착되어 있어, 다종의 가스들 분압을 측정할 수 없고, 챔버내로 공급되는 가스의 전체 압력만 측정할 수밖에 없었다.이에 본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 혼합되어 있는 다종의 가스들의 분압을 정확히 측정할 수 있는 마이크로 단위의 초소형 캔틸레버를 이용한 다종 가스 분압 측정 소자 및 그의 제조방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.