일반기술

캔틸레버를 이용한 초정밀 습도센서 및 그의 제조방법

본 발명은 캔틸레버를 이용한 초정밀 습도 센서 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 실리콘 기판에 지지되어 부상되며, 하부전극, PZT막과 상부전극으로 이루어진 PZT 캐패시터를 포함하고 있는 캔틸레버와; 습기의 흡수로 질량이 증가되어, 상기 캔틸레버가 휘어지는 변위를 발생시킬 수 있도록, 상기 캔틸레버의 상부에 형성된 습도 감지막으로 구성함으로써, 습도 감지막에서 흡수되는 습기량에 따라 캔틸레버의 휘어지는 변위 및 공진주파수의 감소와 같은 변화를 검출하여 습도를 초정밀하게 감지할 수 있는 효과가 발생한다.본 발명은 캔틸레버를 이용한 초정밀 습도 센서 및 그의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 PZT 캔틸레버의 상부에 다공성막을 형성하여, 이 다공성막에 모세관 현상으로 침투되는 습기를 흡수하여 캔틸레버의 휘어짐에 의한 변위를 PZT 캐패시터로 검출하거나 공진주파수 감소와 같은 변화를 측정하여 습도를 초정밀하게 감지할 수 있는 캔틸레버를 이용한 초정밀 습도 센서 및 그의 제조방법에 관한 것이다. 최근 산업이 고도화되면서, 전 산업체에서 정밀한 습도 측정 및 제어의 필요성이 요구되고 있고, 가정 및 사무실내에서도 쾌적한 분위기를 유지하기 위하여, 습도 제어가 요구되는 등, 습도 센서 분야는 급속히 확대되고 있다.특히, 냉동, 공조, 산업 및 군수용에서는 초 정밀한 습도 제어가 필요하고, 이를 위한 습도 센서의 개발이 요구되고 있다. 종래의 저항형 습도센서는 습도변화에 따른 저항변화가 선형적인 특성을 유지하기가 어려워, 정밀하게 습도를 제어하기 어려운 한계가 있었다.이에 본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, PZT 캔틸레버의 상부에 다공성막을 형성하여, 이 다공성막에 모세관 현상으로 침투되는 습기를 흡수하여 캔틸레버의 휘어짐에 의한 변위를 PZT 캐패시터로 검출하거나 공진주파수의 변화를 측정하여 습도를 초정밀하게 감지할 수 있는 캔틸레버를 이용한 초정밀 습도 센서 및 그의 제조방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.