일반기술

Brium이 기본이 된 Titanate 유전체 박막의 특성

BaTiO3에 대한 강유전성이 발견된 이래 많은 perovskite 강유전체 박막이 그들의 흥미로운 유전체 특성 때문에 폭넓게 연구되어 왔다. 이러한 강유전체 재료들 가운데 저온 소결 및 유전성 향상이라는 관점에서 활발히 연구되고 있는 물질로는 (A,B)TiO3의 일반식으로 표현되는 여러 가지 물질이 있다. 이러한 강유전체는 메모리분야의 응용으로 많은 연구가 되고 있다.강유전체 재료를 박막화하는 데는 기존의 박막 제조 기술이 모두 적용될 수 있다. 현재 박막 제조방법으로는 전자빔 증착법, 레이저 증발법, 스퍼터링법 등의 물리적 방법과 화학 기상 증착법, 졸-겔법들의 화학적 방법들이 있다. 이들은 반응계가 건식이냐 습식이냐에 따라 건식 공정과 습식 공정으로 대별하 기도 한다. 이들 방법은 각각의 장단점이 있으므로 증착할 재료와 기판재료의 성질, 요구되는 박막의 구조 및 특성에 따라 선택될 수 있다.