일반기술
질화갈륨을 이용한 고안정성 가스센스 및 제조방법
질화갈륨을 이용한 가스센서가 종래의 금속산화물을 이용한 그것에 비해 안정성이 뛰어나다는 점에서 실용면에서 큰 장점을 지닌다. 본 발명에서는 티탄과 백금을 증착시킨 히터와 면저항이 600옴, 전자농도가 7✕1017/cm2인 질화칼륨 박막위에 백금 또는 금의 박막을 증착한 촉매층을 사용한 구조를 이용함으로써 소자제조 공정은 단순하나 성능면에서는 종래의 감지특성의 안정도에 비해 월등히 우수한 감지소자를 얻을 수 있었다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 기타 재료
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-10-01
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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