일반기술

박막두께 분포조절이 가능한 선형 및 평면형 증발원(Evaporator)

- OLED 4세대 이상 대형 기판에 적용 가능한 OLED용 유기물 증발원- Uniformity : less than 5% / 고가의 OLED용 유기물 박막 사용률 향상 < Linear Nozzle Source > 4세대 이상의 기판에 적용 가능 진공 증착용 선형 소스 기판 스캔 또는 소스 스캔 방식 택일 가능 (Co-deposition 가능) 기판-소스 거리는 200~350mm / Depo. Usage ~ 20%(포인트 3%)Large Substrate : 730*920Deposition Uniformity : less than 5%Doping Mixture Homogeneity : very goodMaterial Usage Efficiency : Higher than existing methodEasy Maintenance : Design ConceptLong Operation : more than 144 hours continuouslyHeat Blocking to Substrate : minimum heat transfer