일반기술

다층막용 진공 증착장치

본 기술은 진공실 상측에 시편 고정대를 위치시키고 진공실 하단에 회전이 가능하고 다수개의 증발판이 마련되는 다중증발대를 설치하되, 상기 다중증발대에 마련되는 각 증발판은 회동시 상측 시편을 항상 동일선상에 위치하도록 함으로써, 다중증발대로부터 증발되는 증발물들을 시편고정대에 고정되는 시편에 순차적으로 증착되도록 하여 증착된 막의 두께를 균일하게 할 수 있도록 하고 시편공정대에는 온도 제어가 가능한 펠티어소자를 부착하여 증착되는 시료의 조건변화를 자유롭게 한 것이다.본 기술은 기존의 다층막의 제작에는 두께의 불안정과 불순물이 함유됨으로 인한 작동소자로서의 부정확성이 존재하였으며 다층막을 제작할 경우 여러 번 증발시료를 교체해야 되는 문제와 이것에 의한 산화, 온도영향 등의 결점과 지금까지 연구되어 온 다층막 형태의 디스플레이 연구분야에서 항상 문제되어 온 외부 영향 등과 같은 종래의 초보적인 연구 단계에서 많이 지적된 문제를 해결하고, 응용성이 다양한 증착막이 제작되도록 유도하는 데 큰 역할이 기대되는 것으로, 기능성 전자소자의 제작에 필수적인 다층막 기술의 개발로 새로운 전자소자의 개발과 응용을 촉진할 것이고, 우리나라 과학기술과 산업적 국가 경쟁력을 제고할 것으로 기대되며, 생산원가를 최소로 하여 염가로 제조가 가능하며, 이를 초박형, 대면적 표시소자에 응용가능할 것이다.