일반기술

리가 공정을 이용한 삼각 산맥구조물과 그 성형틀 제조방법

본 기술은 리가 공정을 이용한 삼각산맥구조물과 그 성형틀 제조방법에 관한 것으로, 특히 기판 상부에 X-선 감광제를 접합하고, X-선 투과층 상부에 삼각산맥구조물의 영역을 정의하는 X-선을 흡수하는 물질로 이루어진 마스크 패턴을 형성하고, X-선 감광제와 마스크 패턴을 밀착시키고 X-선 투과층에 서로 다른 입사방향의 경사진 각도로 2번 노광을 실시하고, X-선 노광을 한 뒤에 X-선 마스크와 감광제를 분리한 후 X-선 감광제를 현상하여 기판 상부에 삼각 산맥구조물 패턴을 형성하고, X-선 감광제 상부에 시드층을 형성하고 금속층을 두껍게 형성한 후에, 삼각산맥구조물 패턴 및 기판을 모두 제거하여 삼각산맥의 피크 끝 부분이 날카로운 미세삼각산맥구조물의 성형틀을 제작할 수 있다.본 기술은 X-선 사진식각공정, 도금공정, 사출성형공정을 포함하는 리가기술을 이용하여 성형틀을 형성하므로 피크부분이 날카로운 미세 삼각산맥구조물을 제작할 수 있을 뿐아니라 피크의 각도를 조절할 수 있어 최적화된 삼각 산맥의 형을 구현할 수 있고 대면적의 성형틀을 만들 수 있다. 이러한 성형틀을 이용하여 유연한 폴리머로 삼각산맥고주물을 성형할 수 있기 때문에 삼각산맥구조물을 대량생산 할 수 있게 한다. 유연한 구조물 특성에 의해 평평한 부분만 아니라 곡면에도 붙일 수 있어서 삼각산맥구조물의 적용범위가 확대된다. 더욱이 성형물질로서 PDMS와 같이 투명한 물질을 사용할 경우, 삼각산맥구조물을 적용하게 되는 물체의 표면상태를 시각적으로 관찰할 수 있는 이점도 있다.