일반기술

아연이 첨가된 산화마그네슘박막 및 이의 제조방법

본 기술은 산화마그네슘 박막 성장시 아연을 첨가함으로써 제조된 박막에 관한 것으로, 박막의 제조시 산화아연상이 분리되지 않는 범위내로 아연을 첨가함으로써 산화 마그네슘의 결정을 그대로 유지하면서, 결정성 및 표면 미세구조가 향상되고, 표면 거칠기가 매우 적은 본 기술의 산화 마그네슘 박막은 다양한 광소자 및 전자소자에 사용될 수 있다.본 기술은 산화마그네슘 박막 성장시 마그네슘과 이온 반경이 유사한 아연을 상분리가 일어나지 않는 범위내에서 고용시킴으로써, 격자구조 및 격자상수의 큰 변화없이 결정성 및 표면 미세구조가 향상된 산화마그네슘 박막을 제공하기 위한 것이다. 본 기술에 따른, 아연이 첨가된 산화마그네슘계 박막은 박막 성장시 적정량의 즉, AnO 상이 분리되지 않을 정도의 아연을 첨가함으로써, 결정성 및 표면 미세구조가 매우 우수하여, 박막의 질이 향상되고, 다양한 광소자 및 전자소자에 효율적으로 사용될 수 있다.