일반기술
엑시머레이저빔을 이용한 3차원 미세부품의 제조방법 및 제조장치
UV 엑시머 레이저의 Ablation(광분해) 가공을 통하여 마이크로 3차원 부품을 쾌속 제작하는 기술로서, 직접적으로는 폴리머 재질과 같은 광 반응 폴리머(photo sensitive polymer)를 대상으로 개발하였으나, 레이저 LIGA 공정을 활용하면 다양한 재질에 대한 3차원 마이크로 부품을 제작 가능한 장점이 있다.기존의 2차원 패터닝 기술에 사용되어왔던 UV 레이저 포토머시닝 기술을 3차원 가공법으로 응용함과 동시에 상변화 충진 기술을 도입하여 완전한 3차원 마이크로 부품을 제작가능한 특징이 있다. 또한 레이저 가공용 3차원 CAD/CAM 기술을 접목하여 가공 공정이 자동화되어 사용자가 쉽게 사용가능하다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 기타 재료
- 보유기관
- 정보 없음
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-09-30
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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