일반기술

유정압베어링용 가변모세관장치 및 그를 이용한 운동오차보정방법

본 기술은 유정압 베어링용 가변 모세관 장치 및 그를 이용한 운동 오차 보정 방법에 관한 것이다. 원통형으로서 상하측 구조부와 그 중간에 삽입되는 판스프링을 구비한다. 상측 구조부 중앙부와 판스프링 사이에는 미세 간극이 형성되어 모세관 역할을 한다. 보정 방법은 유정압 테이블의 일측에 한 쌍의 가변 모세관 장치가 각각 연결된 한 쌍의 유정압 베어링을, 타측에 고정 모세관이 연결된 한 쌍의 유정압 베어링을 설치한 후, 한 쌍의 가변 모세관 장치의 각 게인을 구하는 단계, 테이블을 이송시키며 오차 변위를 측정하는 단계 및 테이블이 이송되는 동안, 각 가변 모세관 장치에 보정 전압을 인가하는 단계를 포함한다. 위의 장치 및 그를 이용한 운동 오차 보정 방법은 유정압 베어링에 강성을 주기 위해 설치되는 모세관 보상 요소를 가변화시켜 주축 또는 이송 테이블의 각 위치에서의 운동 오차량에 상응하는 상대 변위를 보상 요소의 저항 변화를 이용하여 보정해 줄 수 있다.1~2μm/300mm의 운동오차를 0.1μm/300mm까지 보정 가능하므로 특히 초정밀공작기계에 적용성이 우수하며, 서브미크론 이하의 진직도를 측정할 수 있는 측정장치 개발에도 활용가능하다.