일반기술
이중챔버형 다중 진공증착 장치
본 기술은 유기물과 무기물을 이용하여 각종 소자 제작을 위한 기초 단계에 있어서 필수적인 박막제작 장치의 하나인 이중챔버형 다중 진공증착 장치에 관한 것으로서, 시편에 증착물이 균일한 두께로 유기물과 무기물을 다중으로 증착할 수 있도록 한 것이다.본 기술은 종래의 초보적인 소자 제작 단계에서 많이 지적된 문제를 해결하고, 응용성이 다양한 증착막이 제작되도록 유도하는 데 큰 역할이 기대된다. 기능성 전자소자의 제작에 필수적인 다중 다층 다종막 기술의 개발로 새로운 전자소자의 개발과 응용을 촉진할 것이고, 우리나라 과학기술과 산업적 국가경쟁력을 제고할 것으로 기대되며, 생사원가를 최소로 하여 값싸게 제조할 수 있으며, 이를 초박형, 대면적 표시소자에 응용하여 새로운 첨단 산업을 창출할수 있을 것이다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 기계
- 보유기관
- 정보 없음
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-09-30
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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