일반기술

증착법을 이용한 유기 박막 제조법

본 기술은 아세틸렌기를 하나 이상 포함하는 유기화합물을 진공에서 기질 위에 증착시킴과 동시에 또는 증착 후에 열처리 및/또는 자외선 조사에 의하여 중합시켜 유기박막을 제조하는 증착중합법, 그 방법에 의하여 제조된 증착중합 박막, 및 그 박막을 한 층 이상 사용한 전기 발광소자에 관한 것이다. 본 기술에서는 진공증착기를 이용한 유기박막 제조시, 고온에서의 라디칼 형성공정 및 불필요한 부산물의 발생을 피하고자, 비교적 저온의 열처리 또는 자외선 조사에 의하여 용이하게 중합반응을 일으키는 아세틸렌기를 하나 이상 포함하는 유기화합물을 합성한 후, 이를 전구물질로 사용하여 증착중합 박막을 제조한다. 본 기술의 방법에 의하여 제조된 증착중합 박막은 두께가 균일하고 우수한 열안정성을 가지며 필요에 따라 패턴을 형성할 수 있어, 반도체의 층간 절연박막, 전기 발광소자, 태양전지, 복사기와 레이져 프린터 등 다양한 분야에 응용이 가능하다. 본 기술의 아세틸렌기를 하나 이상 포함하는 유기화합물을 증착중합 박막 제조에 이용하면 고온에서의 열 중합 공정을 거치지 않고, 다만 진공 조건에서 증착과 동시에 또는 증착 후에 열처리 또는 자외선 조사를 행하여 고분자 박막을 용이하게 얻을 수 있으며, 불필요한 부산물이 발생하지도 않는다. 이와 같이 제조된 증착중합 박막은 두께가 균일하고 우수한 열안정성을 가지며 필요에 따라 패턴을 형성할 수 있어, 반도체의 층간 절연박막, 전기 발광소자, 태양전지, 복사기와 레이저 프린터 등 다양한 분야에 응용이 가능하다. 최대 해상도는 약 10㎛ 정도까지 가능하다.