일반기술
진공증착장치의 가열용기
본 기술은 증착막의 증착 균일도를 향상시킬 수 있는 진공증착장치의 가열용기를 제공하고, 승화 유기물에 함유된 불순물을 필터링함으로써 양질의 증착막을 형성할 수 있는 진공증착장치의 가열용기를 제공하고자 한다. 또한 가열용기를 경사지게 유지하기 위한 장치와 기판 회전용 구동부를 생략함으로써 진공증착장치를 단순화할 수 있도록 하고있다. 본 기술은 진공증착장치의 가열용기에 관한 것으로 가열에 의해서 승화된 내부 유기물이 방출되는 개방구에 망사형 커튼이 설치된 것을 특징으로 한다. 따라서 기판 상에 증착되는 증착막의 증착 균일도를 향상시키고, 불순물이 함유되지 않은 양질의 증착막을 형성할 수 있으며, 증착장치를 단순화하여 증착장치 제조비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 기계
- 보유기관
- 정보 없음
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-09-30
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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