일반기술

화학환원제를 이용한 과불화탄소 분해방법

본 기술은 강력한 지구온난화 가스인 PFC 가스의 효과적인 분해 방법에 관한 것으로서, 본 기술에 따른 알칼리금속 할로겐화물/고로 슬랙/Si계 성분의 혼합분말 및 과립을 화학처리제로 사용하여 500 내지 900도 범위의 온도에서 처리하면 PC를 높은 효율로 분해할 수 있는 기술이다. 즉, 지구온난활르 유발하는 가스 중 온난화 지수가 가장 큰 가스인 CF4를 포함하는 PFC 가스를 효과적으로 분해하는 시스템으로 화학환원제를 사용한다. 반도체 제조 공정에서 다량 사용하는 PFC 가스를 보다 경제적으로 처리함으로써 환경처리비용을 최소화시키고 환경 개선 효과를 극대화시킬 수 있는 기술이다.본 기술에 따른 화학환원제를 사용하면 화학환원제와 PFC가 고온에서 서로 반응하여 부산물의 생성없이 주로 탄소 및 불화물을 생성시키며, 이들 화합물은 환경적으로 무해한 물질로서 공업적으로 재활용할 수도 있다. 갈수록 엄격해지는 국제환경규제에 대응하여 본 기술에 의한 효울적인 PFC 온실가스의 분해기술 개발은 국내 반도체 산업의 경쟁력을 높일수 있을 것으로 기대되는 기술이다.