일반기술

MEMS공정을 이용한 수소이온 감지기구 개발

이온센서는 수용액 속에 포함된 이온을 화학적으로 반응에서 일어나는 현상을 전기적 신호로 변환하여 측정하는 방법이다. 대표적으로 ISE와 ISFET 등이 있지만 ISE는 가격이 비싸며, 크기가 크고 응답속도가 느린 단점이 있고, ISFET는 온도 시간에 따를 드리프트현상, 기준 전극의 소형화 및 외부인가 전압에 따른 여러가지 문제점을 내포하고 있다. 본 기술은 현재 상업적으로 널리 이용되고 있으며 재현성과 안정된 응답특성을 가지는 유리전극형 pH센서의 기본원리를 이용하여 반도체 공정을 도입한 MEMS기술로 초소형 pH센서를 제작하기 위한 공정확보와 센서로서의 기능을 확보하기 위한 것이다. 제작된 센서의 H+ 활동도는 90mV/pH의 선형특성을 보여 pH농도 측정에 활용가능하고 Ag/AgCl기준 전극형성 방법에 따르 pH센서의 전압 안정성은 전기양극 방법으로 제작될 경우 100mV/day으로 KCrO3Cl용액 화학 반응으로 제작된 센서에서 60mV/day으로 나타나 KCrO3Cl용액으로 제작된 전극이 안정성이 있다.