일반기술

적외선 감지소자 제조방법

종래 적외선 감지소자 제조방법은 제조단가가 비싸거나, p-n접합을 형성하면서, HgCdTe 기판에 손상을 주어 적외선 감지소자의 구동시 누설전류가 발생하여 그 특성이 열화되는 문제점이 있었다. 본 기술은 광전압형 적외선 감지소자의 HgCdTe 기판에 손상을 주지 않고, 낮은 제조비용을 들여 제조할 수 있는 적외선 감지소자 제조방법에 관련된 것이다.본 기술은 적외선 센서를 이용하는 야간투시경이나 감시, 조준 망원경 등은 현대전에 있어서 필수 장비 이다. 적외선 센서란 물체에서 방사되는 파장 0.75㎛ 이상의 복사선을 검출하여 식별하는 소자로서 기계, 구조및 건물의 이상검지를 위한 열화상진단, 의학분야에서의 신경기구분석, 에너지 분야의 화염, 연소가스의 온도분포 계측 등에 활용될 수 있으며, 최근에는 DVR과 같은 영상감시장비와 침입탐지 및 원격감시시스템을 결합하여, 사무실, 설비, 아파트 등의 보안감시 시스템으로 적용되고 있다.본 기술은 적외선 검출소자 제조방법은 HgCdTe의 p-n접합을 형성하기 위하여 수소 플라즈마를 사용하여 저농도 p형 HgCdTe층의 일부에 선택적으로 수소 이온 또는 원자를 소정의 깊이로 확산시켜, 저농도 n형 HgCdTe층을 형성함으로써, 그 p-n접합의 계면이 손상되는 것을 방지하여, 누설전류의 발생을 방지하는 효과와 아울러 단순한 공정을 사용하여 제조단가의 상승을 방지함과 아울러 수율을 증가시키는 효과가 있다.침입탐지시스템의 센스부로서 가장 핵심부품인 적외선 감지소자의 특성을 개선함과 동시에 제조방법을 획기적으로 개선함으로서 적외선 감지소자의 대량양산이 가능하도록 하였다.