일반기술

경박 단소형 병렬 XYθ Table

반도체 및 정밀부품들을 검사하기 위해서는 원하는 위치에 정밀하게이동시키는 작업이 필수적이다. 기존의 테이블은 XYθ의 자유도를 가지며 서로 독립적으로 구동하는 이송부를 3단으로 적층한 형태로 구성되어 있다. 이 테이블은 2차원 정밀위치 결정장치로써 고가이면서 하중이 무겁고 차지하는 공간이 크다는 단점이 있다. 정밀 위치 결정의 경우 ±3mm의 정도가 되는 작은 영역에서 ±1㎛ 고정밀 위치제어가 요구되는 경우 적용의 어려움이 발생한다. 이것을 해결하기 위하여 XYθ의 자유도를 갖도록 전동 리니어 액추에이터 3개를 제작하여 단일 평면상에 수평 방향으로 한 개, 수직 방향으로 두 개를 설치하여 경박 단소한 병렬 XYθ 테이블을 제작하였다. 병렬 XYθ 테이블에 정밀위치 결정이 요구되는 "+"마크가 새겨진 부품을 올려놓고 2대의 CCD 카메라를 이용하여 원하는 위치로 이동할 수 있도록 구현하였다. 그 결과 기존 테이블에서 적용이 어려웠던 기존 테이블에 비해 차지하는 공간이 작아지는 동시에 높이가 대략 ¼이상 줄었다. 또한 제작비가 저렴하다는 큰 장점이 있었다.본 기술은 LCD 검사, 전자부품 정밀 위치 결정용으로 사용되며정밀 이송 및 자세 결정 시스템에도 사용된다. 본 기술은 시스템이 경박 단소하기 때문에 장착의 용이성과 저가의 시스템 구축이 용이하다는 장점이 있으나 2차원 정밀위치 결정장치로써 고가이면서 하중이 무겁고 차지하는 공간이 크다는 단점이 있다. 고가의 선진 외국의 정밀 XYθTable 수입 대체 효과가 있을것으로 본다.