일반기술

대향타겟식 스퍼터링에 의한 다양한 박막의 제작

고도로 발달한 현대의 정보화사회를 주도한 컴퓨터 하드디스크의 저장기술은 컴퓨터 산업의 계속적인 발전과 더불어 많은 연구자들에 의해 연구, 개발되고 있다. 계속적으로 증가하는 저가, 고용량에 대한 요구를 만족시키는 본 분야의 기술개발 중, 기록매체의 개발은 더 높은 고밀도화를 위해 매우 중요한 기술이라 하겠다. Hard Disk Drive(HDD)에서 박막기술은 기록밀도 향상에 필요한 더 작은 자성체 입자 구조, 높은 보자력을 가진 매체를 개발하기 위해 매우 중요한 기술력으로 중요시되고 있다. 나아가 박막 기술은 자기 기록뿐 만 아니라 최첨단 기술분야를 비롯, 산업 전 분야에 걸쳐 매우 다양하게 사용되고 있다.본 기술에서는 고밀도화를 위한 수직자기기록 매체용 재료중 가장 우수한 Co-Cr을 가지고 다른 system에 비해 고융점 물질의 박막제작 용이, 제조된 박막의 조성이 타겟 물질과 거의 같다는 점, 기판과 박막과의 강한 부착력을 가진 스퍼터링 system을 이용해 박막을 제작하고 있다.