일반기술

Cryopump 개발

극고 진공용 펌프로서 10-10 torr 까지 발생시킬 수 있어, 우주 환경묘사, 신물질 개발, 진공증착등 신기술 개발과 신물질 개발을 위한 환경을 형성할 수있다. 극고진공 발생용 Cryo cooler는 절대온도 20 K 를 생성하여 Cryopannel에 제공함으로서 공간내의 입자를 응착, 제거함으로서 고진공을 형성할 수 있도록 한다. 극고진공용 극저온 냉동기는 크게 Compresssor module과 Expansion module 및 Control part로 나눌 수 있는데 핵심분야인 대한 설계 및제작에 관한 경험을 토대로 이를 국산화 하고자함. 극저온 냉동기를 이용한 Cryopump의 제작을 위해서는 진공흡착 판넬의 설계기술의 활용으로 입자의 흡착효과가 최적화될 수 있도록 개선된 형상으로 설계, 제작할 수 있도록 함. 극고진공 발생기술을 중소기업이 보유함으로서, 이를 응용한 다양한 제품을 개발할 수 있음.장점 : 소음과 고장이 적고 안정성, 내구성이 뛰어나다. Throughput가 크다. 단점 : 재생시간이 필요하다.