일반기술
챔버 특성 측정 및 매처 성능 평가를 위한 어댑터
본 기술은 챔버 특성 측정 및 매처 성능 평가를 위한 어댑터에 관한 것으로 RF 발전기와 입력 단자가 금속봉으로 형성된 챔버와 상기 챔버의 특성을 측정하는 측정기와 출력 단자가 클립으로 형성된 매처와측정기로부터 출력되는 데이터를 이용하여 상기 챔버의 특성을 확인하는 컴퓨터를 포함하는 챔버 특성 측정 장치에 관한 기술이다.본 기술은 실제 라인인 챔버 특성 측정 장치에 매처와 챔버에 간단하게 연결할 수 있는 어댑터를 제공함으로써 챔버의 특성 분석 및 매처의 성능 평가를 용이하게 수행할 수 있는 장점이 있다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 기계
- 보유기관
- 한국산업기술진흥원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-10-28
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
등록된 관련 특허가 없습니다.