일반기술

반도체 공정용 세라믹 정전척 제조기술

- 반도체 공정에서 웨이퍼의 고정 및 이송에 사용되는 척으로써 세라믹 유전체와 세라믹 전극을 사용하여 균일하고 높은 척력을 나타내는 신개념 세라믹스 정전척 제조 기술- 반도체 공정의 대구경화에 따라 균일한 척력을 나타내는 정전척의 수요가 급증하고 있으며 그 해결 방안이 세라믹스 정전척임.- 그러나 대부분의 세라믹스 정전척은 금속 전극을 사용하고 있으며 세라믹스와 금속사이의 특성의 부조화로 계면 균열발생, 내구성 저하, 척력의 불균일성 등의 문제가 대두됨.- 반면 본 기술의 세라믹스 전극을 정전척에 사용할 경우 상기의 문제를 해결할 수 있으며 독창적인 원천기술이기 때문에 세라믹스 정전척 시장의 대부분을 점유하고 있는 일본의 기술 독점에 대응할 수 있음.- 그 외에 공업용 정전척 분야에도 활용 가능함.- 종래의 금속 전극 대신에 전도성 세라믹 전극을 이용한 정전척으로써 유전체 세라믹스 층과 물성이 유사한 세라믹스 전극을 사용하기 때문에 상호 접합성이 좋고 열팽창계수 차이가 없어 계면 균열등이 발생하지 않아 내구성이 우수함.- 유전체증과 전극층이 호환성이 우수하여 면상 전극의 설계가 가능하기 때문에 면적에 관계없이 균일한 척력을 발생시킬 수 있어 대구경 웨이퍼 공정에 적합- 직류전압 (3kV) 인가시 최대 흡착력 1685gf 발생 (4inch 웨이퍼 기준)