일반기술

레이저를 이용한 미세 원통 구조물 제조를 위한 빔과 회전중심축 정렬장치

레이저를 이용하여 미세 원통 구조물 및 이와 유사한 회전체 구조물 가공할 때, 레이저 빔과 원통 구조물의 중심축을 정확히 정렬하기 위하여 레이저 빔 발생수단과, 레이저 빔을 회전중심축에 정렬하는 수단을 포함하는 레이저 빔의 정렬장치에 있어서, 평면운동을 수행하는 XY이송계와 회전 운동을 수행하는 회전이송계를 구비하는 이송부와, 회전이송계의 테이블 상에 설치되고 수평면과 소정의 각도조절이 가능한 광분할기와, 위치센싱이 가능한 수광소자가 소정 각도로 테이블의 연장선상에 고정배치된 평면측정부 및 조리개에서 반사되는 빔을 측정하는 위치센싱이 가능한 수광소자와 빔경로를 조정하기 위한 소정의 반사판이 구비된 수직측정부를 포함함을 특징으로 레이저빔 정렬장치로서, 구조물의 치수정밀도를 향상시키고 초보자들도 쉽게 정밀하고 반복적인 정렬 결과를 얻을 수 있는 광학적 레이저 빔 정렬 장치이다."본 기술은 레이저 가공 현장에서 숙련자들이 사용하는 시행착오를 통한 빔 정렬 방법의 대안으로 특히 원통과 같이 중심축에 대해 대칭인 회전체 구조물 제조시 회전 중심축과 레이저 빔을 정렬하는 광학적 방법을 제시한다. 레이저를 이용하여 미세한 크기의 원통형 구조물 및 이와 유사한 회전체 구조물 제조시 이 측정 시스템을 활용하여 초보자도 쉽게 마이크로미터 단위 수준으로 정확하게 레이저 빔과 회전 중심축의 정렬을 수행할 수 있을 뿐만 아니라 반복적으로 동일한 정렬 결과를 얻을 수 있으므로 미세 구조물의 치수정밀도 및 치수균일성을 확보할 수 있도록 함을 본 기술의 목적으로 한다. 본 기술의 효과로는 레이저를 이용하여 미세 원통 구조물 및 이와 유사한 회전체 구조물 제조시 레이저 빔과 원통 구조물의 중심축을 정확히 정렬하여 구조물의 치수정밀도를 향상시키고 초보자들도 쉽게 정밀하고 반복적인 정렬 결과를 얻을 수 있는 광학적 빔 정렬 방법을 제공하여 미세가공을 가능하게 할 수 있다."