일반기술

박막 태양 전지를 구비한 박막 전지 및 그 제조 방법

본 기술은 박막 전지와 박막 태양 전지를 조합하여 별도의 충전 시스템 없이도 박막 전지의 충방전이 가능하도록 한 박막 태양 전지를 구비한 박막 전지 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 기술은 박막 태양 전지를 구비한 박막 전지를 제조하는 방법에 있어서, 기판의 일면을 식각하여 적어도 하나 이상의 그루브를 형성하는 단계와 그루브 중에서 적어도 하나 이상의 그루브에 박막 전지를 형성하는 단계와 단계에서 형성된 박막 전지와 인접한 다른 그루브 중에서 적어도 어느 한 그루브에 박막 태양 전지를 형성하는 단계를 포함하는 박막 태양 전지를 구비한 박막 전지 제조 방법을 제공한다.반도체 산업의 고도화로 인하여 극소형 마이크로 전기 전자 소자가 스마트 카드, MEMS(MicroEletroMechanical System), MAV(Micro Air Vehicle) 등의 여러 분야에서 등장함에 따라서, 이들 소자가 요구하는 소비 전력 또한 점점 극소화하고 있으며, 이에 따라 전력 공급원으로써의 박막 전지의 필요성이 절실해지고 있다. 종래 대부분의 소자는 각각의 소자가 제작된 이후에 외부의 전력 공급원으로부터 전력을 공급받는 형태를 취하고 있지만, 박막 전지의 도입으로 소자 자체에 전력 공급원을 갖는 것이 가능해졌다. 하지만, 박막 전지도 전지의 일종이므로 외부의 전력 공급원으로부터 충전받아야 반복적으로 사용할 수 있기 때문에, 그에 적당한 별도의 충전 시스템이 필요하다. 한편, 박막형 전지의 일반적인 구조는 기판 위에 다양한 반도체 공정을 이용하여 구성 물질들을 증착시켜 제조된 형태로써, 그 특성상 형태나 크기의 제약이 거의 없어 자유롭게 제조될 수 있다는 특징이 있다.