일반기술

수직 방향으로 집적된 다층 박막전지 및 그의 제조방법

본 기술은 Ti계 또는 W계 물질의 조합을 통해 전류 집전체 및 보호막의 두가지 기능을 동시에 달성할 수 있는 단위 박막전지를 제조할 수 있으며, 또한 수직방향으로 다층으로 박막전지를 집적함에 의해 최소 면적으로 고 에너지, 고 전류량을 달성할 수 있는 다층 박막전지 및 그의 제조방법에 관한 것이다."본 기술에 따른 수직방향으로 집적된 다층 박막전지를 제조하는 방법은 기판 위에 수직방향으로 제1층 박막전지를 형성하는 제1단계와, 제1층 박막전지 위에 절연물질을 도포한 후 상부면을 평탄하게 처리하여 제1평탄 절연막을 형성하는 제2단계와, 제1평탄 절연막을 통하여 제1층 박막전지의 양극 및 음극 전류집전체에 대한 제1 및 제2 플러그-인을 형성하는 제3단계와, 제1평탄 절연막의 상부에 순차적으로 제1 내지 제3단계를 반복하여 제2 내지 제n 층의 박막전지를 형성하는 단계로 구성되는 것을 특징으로 한다.본 기술에서는 종래의 수평 방향으로의 집적과 더불어 수직 방향으로의 집적을 이용함으로써 고 에너지를 보다 작은 면적에서 달성할 수 있게 된다."