일반기술

테이블 리프트를 이용한 열진공 챔버용 위성작업대

위성체를 안전하고 용이하게 열진공 챔버 내부로 이송시키며, 열진공 챔버 내부로 이송시키며 열진공 챔버의 내부오염을 최소화하는 테이블 리프트를 이용한 열진공 챔버용 위성 작업대를 제공한다. [구성]챔버(50) 내부의 챔버레일(70)과 테이블 리프트(100,110)의 레일을 일치시켜 레일 길이를 연장하고, 제2테이블 리프트(110)가 펼쳐진 뒤 도어 돌리(20)의 전기모터를 구동시켜 도어(10)를 챔버(50)쪽으로 이동시킨다. 도어(10)가 이동되면 위성체(40)가 얹혀진 지지대(30) 하측의 롤러(31)는 테이블 리프트(100)의 레일을 따라 이송되며 지지대(30)의 롤러(31)가 제1테이블 리프트(100)의 상판(111)에서 제2테이블 리프트(110)의 상판(112)으로 이동되면, 제1테이블 리프트(100)를 접어 제1테이블 리프트(100)의 상판(111)과 바닥면이 일치되게 한다. 이같이 지지대(30)의 롤러(31)가 제2테이블 리프트(110)의 상판(112)로 이동되고, 제1테이블 리프트(100)가 접혀진 상태에서 계속 도어 돌리(20)를 이동시키면 도어 돌리(20)가 제1테이블 리프트(100)의 상판(111)위로 이송된다.본 기술은 테이블 리프트의 사용으로 위성체를 챔버 내부로 하부에서 지지하게 되고, 테이블 리프트는 짧은 길이와 긴 길이로 구성되어 상판의 높이를 조절한다. 높이 조절 수단은 실린더와 높이 조절대, X자로 결합된 지지봉으로 이루어진다. 여기서 실린더는 AC서브모터 또는 DC모터를 이용하여 실험실 내부오염을 줄이는 효과를 가져온다. 따라서 테이블 리프트의 사용으로 카운터 모멘트의 필요성을 제거하여 도어 후방의 고하중 구조물을 경량화 할 수 있고 도어의 조정이 용이할 뿐만아니라 도어의 운전시 사용되는 전기모터의 용량도 줄일 수 있게 된다. 이럼으로써 모터 제작비 및 챔버 사용시의 운영비도 절감되는 효과를 가져온다. 또한 테이블 리프트가 위성체 지지대를 받혀줌으로써 위성체의 이송시 안정성이 확보되고, 위성체 지지대의 모멘트에 의한 구조상의 변형을 최소화시켜 고진공 상태의 기밀을 유지시켜주며, 작업자에게 위성체 관련 작업을 챔버 외부에서 수행케함으로써 충분한 작업공간을 확보할 수 있게 해준다. 결과적으로 본 기술은 하중이 큰 구조물을 이송시킬 때 유용하게 사용될 수 있다.