일반기술

초소형 프리즘 어레이 금형 제조방법

본 기술은 LIGA 공정을 이용한 광학용 초소형 프리즘 어레이의 금형제작방법에 관한 것으로서, LIGA 공정으로 X-선 마스크에 대한 정렬없이 경사노광하는 방법으로 프리즘 어레이 형태를 만들고, 상기 어레이 형태에 전기도금을 함으로써 표면조도가 우수하고 임의 형태의 가공이 탁월한 프리즘 어레이를 사출성형할 수 있게 하는 초소형 프리즘 어레이 그미형 제조방법에 관한 것이다. 본 기술은 LIGA 공정을 이용하여 광학용 프리즘 어레이를 사출성형하기 위한 초소형 프리즘 어레이의 금형 제조방법에 있어서 X-선 마스크를 이용하여 경사노광을 몇번 하는 경사 노광단계와, 노광된 시편을 현상하여 원하는 프리즘 어레이 형태의 PMMA를 제작하는 PMMA 제작단계와, 제작된 PMMA 형상에 니켈 도금을 한 후 상기 PMMA를 녹여 실리콘 기판을 제거하여 해당하는 프리즘 어레이 형태의 니켈 금형을 얻는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.