일반기술

기계적 동기식 개폐수단을 구비하는 시간식 유량 제어장치

하나 이상의 저장조, 상기 저장조의 유입부를 개방하는 유입개방구간 및 상기 저장조의 유입부를 폐쇄하는 유입폐쇄구간이 교번되는 개폐사이클을 이루면서 상기 저장조의 유입부를 개폐하는 유입개폐수단, 상기 저장조의 유출부를 폐쇄하는 유출폐쇄구간 및 상기 저장조의 유출부를 개방하는 유출개방구간이 교번되는 개폐사이클을 이루면서 상기 저장조의 유출부를 개폐하는 유출개폐수단, 및 상기 유입개폐수단 및 상기 유출개폐수단의 개폐사이클 속도 및/또는 상기 유입개폐수단 및 상기 유출개폐수단의 단위 개폐사이클 당 상기 저장조에 저장·방출되는 유체의 질량/체적을 제어함으로써, 상기 저장조로부터 유출공급되는 유체의 질량/체적 유량을 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 유입개폐수단의 개폐사이클과 상기 유출개폐수단의 개폐사이클의 주기가 일치하도록 하는 양의 개폐구동력이 상기 유입개폐수단 및 상기 유출개폐수단 각각에 시간에 대하여 일정하게 제공되되, 상기 유출개폐수단이 폐쇄된 상태에서 상기 유입개폐수단이 개방되고 상기 유입개폐수단이 폐쇄된 상태에서 상기 유출개폐수단이 개방될 수 있도록, 개폐사이클 위상에 대하여 상기 유입개폐수단의 유입개방구간과 상기 유출개폐수단의 유출개방구간은 서로 이격되게 형성되어진 것을 특징으로 하는 기계적 동기식 개폐수단을 구비하는 시간식 유량 제어장치- 현재 가스용 MFC(Mass Flow Controller)는 모세관을 통과하는 가스 의 온도차를 감지하여 유량을 제어하는 열식이 주류를 이루고 있으나 향후 모세관을 사용치 않는 체적식 MFC의 개발이 필요함- 반도체 산업의 발달로 액체용, CMP(Chemical Mechanical Polishing), 고온용 MFC의 개발이 필요- 기존 방식에 의한 MFC개발 실패로 인한 새로운 기술 확보의 필요성 인식저장조로부터 유출공급되는 유체의 질량/체적 유량을 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 유입개폐수단(13)의 개폐사이클과 상기 유출개폐수단(3)의 개폐사이클의 주기가 일치하도록 하는 양의 개폐구동력이 상기 유입개폐수단(13) 및 상기 유출개폐수단(3) 각각에 시간에 대하여 일정하게 제공되되, 상기 유출개폐수단(3)이 폐쇄된 상태에서 상기 유입개폐수단(13)이 개방되고 상기 유입개폐수단(13)이 폐쇄된 상태에서 상기 유출개폐수단(3)이 개방될 수 있도록, 개폐사이클 위상에 대하여 상기 유입개폐수단(13)의 유입개방구간과 상기 유출개폐수단(3)의 유출개방구간은 서로 이격되게 형성되어진 것을 특징으로 하는 기계적 동기식 개폐수단을 구비하는 시간식 유량 제어장치를 제공한다.- 국내 MFC 수요의 전량 수입 의존 상태에서 탈피