일반기술

초저유전성 박막제품을 위한 유기실리케이트삼중공중합체와 그 제조방법

본 기술은 유기 실리케이트 삼중공중합체와 그 제조방법 및 이를 이용한 초저유전성 코팅막의 제조 방법과 이들의 뛰어난 기계적 전기적 특성에 관한 것이다.유기실리케이트 삼중공중합체는 메틸트리알콕시실란, 디메틸디알콕시실란과 함께 양쪽 RMx에 반응자리를 가지는 α,ω-비스트리알콕시실릴화합물을 공중합 단량체로서 사용하여 공중합한 것으로 ,A 단량체에 대한 B 와 C 단량체들의 혼합비율을 최적화 하여 실란올 만단기 함U 10% 이산, 분자량 3,000 ~ 30,000dmf 가지는 삼중 공중합체를 합성한 후, 기공생성제와 함께 코팅하여 열처리하는 경우 , 생성된 코팅막은 나노미터 크기의 미세다공을 함유하게 되어 , 뛰어난 기계적 강도(모듀러스 10GPa 이상, 표면강도 1.2 GPa 이상)를 가지면서 유전율이 2.0 이하인 초저유전성을 가질 수 있어, 차세대 반도체인 구리배선 칩 제조에 필수적인 절연물질 사용되어 성능을 높이는 효과가 있다.