일반기술
변위 측정 공압법에 의한 압전박막의 압전상수 측정방법 및 그 측정장치
본 기술은 시편의 뒷면에 스트레인 게이지(strain gauge)를 부착하여 시편에 압력이 가해질 때 시편과 오링 사이에 발생하는 응력을 스트레인으로 측정하고, 이 과정에서 발생하는 스트레인과 전하의 양을 동시에 측정한다. 인가 압력의 변화에 따라 발생하는 스트레인과 전하의 변화를 측정한다. 압전 박막의 압전 상수를 측정하는데 있어서, 기존의 방법들은 복잡한 장비나 측정기술을 필요로 하였다. 또한 d31의 경우 박막을 캔틸래버 모양으로 가공해야만 하는 번거로움이 있었다. 그러나, 본 방법의 경우 측정방법이 간단하고 복잡한 장비들을 사용하지 않고 쉽고 정확하게 박막의 압전상수를 측정할 수 있고, 일축방향의 응력을 만드는데 있어 금속 팁을 사용하는 수직 응력법에 비하여 용이하여 더 신뢰성 있는 결과를 얻을 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 전기·전자기 기능재료
- 보유기관
- 서울대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-11-24
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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