일반기술

분극 방향이 서로 반대인 압전-압전 세라믹 액츄에이터

본 기술은 항전기장이 Ec1 인 제1세라믹 압전층 및 상기 제1세라믹 압전층과 접해 있고, 항전기장이 Ec1 과는 다른 값의 Ec2 인 제2세라믹 압전층으로 구성되며, 항전기장 Ec1 및 Ec2 은 전기장이 인가되었을 때 제1세라믹 압전층의 분극 방향과 제2세라믹 압전층의 분극 방향이 서로 반대가 되도록 결정되고, 전기장의 인가에 의하여 어느 하나의 압전층은 수축하고 이와 동시에 다른 압전층은 팽창하는 분극 방향이 서로 반대인 압전-압전 세라믹 액츄에이터에 관한 것이다. 본 기술은 기존의 압전-비압전 세라믹 결합이나 바이모르프 액추에이터들과는 달리, 압전-압전(Piezoelectric-Piezoelectric) 세라믹을 결합한 두 개의 압전층이 일체로 된 액츄에이터로서, 분극 방향이 반대로 바뀌는 전장인 항전기장(coercive field : Ec) 차이를 이용하여 분극 방향이 다른 두 층을 가진 액츄에이터를 제공한다. 본 기술에 의한 액츄에이터는 한 층이 수축할 때 다른 층은 팽창하여 변위가 매우 크고 제조 공정이 매우 단순하다는 장점이 있다.