일반기술
탄성파 소자의 제조방법 및 그에 따라 형성된 탄성파 소자
본 기술은 서로 다른 탄성 임피던스 유전율을 갖는 박막이 순차적으로 반복 적층된 다층막 구조를 갖는 탄성파 소자의 제조방법 및 그에 따라 형성된 탄성파 소자에 관한 것이다. 본 기술은 기판의 종류를 다양하게 사용할 수 있으며, 높은 전기적 반사계수를 가지며, 대량생산 및 공정시간을 단축할 수 있고, Tx 및 Rx filter가 결합된 2 GHz 대역의 고주파를 사용하는 이동통신 단말기의 duplexer에 활용할 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 전기·전자기 기능재료
- 보유기관
- 서울대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-11-24
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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