일반기술

평행광 어레이를 이용한 응력 측정 방법과 장치, 및 이 장치를 구비한 실시간 응력 측정 수평 반응기

기존의 실시간 응력 측정 장치들이 갖고 있는 문제점을 개선하여 어떤 형태의 성장 장비에서건 활용될 수 있는 측정 방법에 관한 것으로 이를 위해 입사빔과 수평 방향, 수직 방향을 별도로 고려하는 보다 정확한 계산법을 통해서 정확하게 응력 측정 가능하다. 반도체 박막 특히 에피층 성장 시에 박막 내부에 발생하는 응력을 평행 레이저 어레이를 사용하여 실시간으로 관찰함으로써 박막의 두께, 응력, 조성 등을 알아낼 수 있다. 수평반응기에 장착한 레이저 어레이를 이용하여 박막 성장 도중의 박막에 인가되는 응력을 실시간으로 측정할 수 있으며 레이저 빔이 기판에 거의 수직으로 입사하는 경우 수평 형태의 MOCVD와 같은 상황에서는 응용이 불가능한데, 본 기술에서는 반응기의 옆면에 port를 마련하여 성공적으로 레이저 빔을 측정하였고, 그 분해능이 향상되는 것을 관찰할 수 있다.