일반기술
나노스케일 다층 필름 제조를 위한 플라즈마 화학 기상증착 장비 및 화학 기상 증착 장비의 자동 밸브 조절 시스템
본 기술은 플라즈마 화학 기상 증착법을 이용하여 나노 스케일(nano-scale)의 초고경도 및 다기능을 가지는 나노스케일 다층 필름 제조를 위한 증착 장비의 자동 밸브 조절 시스템에 관한 것이다. 본 기술은 밸브들을 미리 설정된 시간 간격을 두고 각각 개폐 제어해 주는 제어부를 더 포함하여 구성되어, 소스 공급부를 통하여 공급되는 박막 조성에 필요한 물질을 미리 설정된 순서대로 상기 챔버에 공급하여 신속하고 정밀하게 다층 박막을 형성할 수 있다. CVD 방법으로 초격자 박막을 입힐 수 있어 형상이 복잡한 부품에도 우수한 내마모 코팅이 가능하다.
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 기타 기계
- 보유기관
- 서울대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-11-24
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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