일반기술
자기저항 소자의 제조방법
본 기술은 자기저항소자의 제조방법에 관한 것으로, 특히 자기헤드 및 자기센서 소자로의 응용이 활발히 연구되고 있는 스핀밸브 자기저항 소자의 제조시에 재료 내에 별도의 외부자장의 인가없이 자기이방성을 유도하여 자기저항소자를 제조하는 방법에 관한 것이다. 본 기술은 기울여 잘라진(tilt-cut) Si 기판 상에 Cu층을 바닥층으로 사용하고, 그 위에 Co / Cu / NiFe로 이루어지는 박막을 외부자장의 인가 없이, 순차적으로 형성하여 자기이방성을 유도하는 것을 특징으로 하는 자기헤드 및 센서용 자기저항 소자의 제조방법을 개발하였다. 이 때 Co 와 NiFe 두 자성층에 유도되는 자화용이축은 면내에서 상호 수직으로 형성되어 자기헤드 및 센서용 소자등의 제조에 매우 유용하다.
기술정보
- 기술분류
- 재료 > 전기·전자기 기능재료
- 보유기관
- 서울대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-11-24
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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