일반기술

미세 구동기 및 그 제조방법

본 기술은 미세 구동기 및 그 제조 방법에 관한 것으로서 미세 위치 제어기를 포함하는 미세 구동기 및 그 제조 방법으로 미세 구동기의 제조 공정을 단순하게 하는 것과, 2개의 자유도를 가지는 이동 범위가 넓은 미세 구동기를 실현할 수 있도록 한다." 본 기술은 실리콘 기판과 유리기판을 접합하고, 실리콘 기판을 연마하여 구동기 구조의 두께만큼 얇게 하고 이를 패터닝하며, 유리기판을 등방성 식각하여 미세 구동기를 제조하는 것을 특징으로 하는 제조방법과, x-y 방향으로 움직이면서 각각의 방향에 대해서 독립성을 가지면 다른 방향의 움직임에 대해서는 간섭을 일으키지 않는 미세 구동기를 실현하는 것을 특징으로 한다. 실리콘기판을 구조물로 사용하면 잔류응력 등이 없으므로 제작 시의 공정 이력에 따른 성능 변화를 줄일 수 있고, 유리기판을 등방성 식각에 의하여 제거하여 이동 구조물을 부양시키므로 공정비를 줄일 수 있다. 또한, 일정 방향으로 이동할 때 다른 방향의 움직임에 영향을 주지 않으므로 중앙의 탑재물을 이동시킬 때 제어 방식을 단순하게 구성할 수 있다."