일반기술
동축 개구면을 가진 평면 구조의 RF MEMS 프로브
본 기술은 MEMS와 micromachining기법을 이용한 동축 개구면을 가진 평면구조의 프로브에 관한 것으로서, TEM 전자기파를 전송할 수 있는 완전 차폐된 코플래나 웨이브가이드 또는 스트립 라인과 샘플과 접촉 할 수 있는 수평면 상의 동축 개구면으로 구성된다. 본 기술은 MEMS 기법과 Micromachining 기술을 이용하여 보다 정밀하고, 집적회로와의 결합이 가능한, 인체 in-vivo 측정에 부합할 수 있는 일회용, 저가 및 대량생산이 가능한 probe 개발에 중점을 두었다. MEMS와 micromaching을 이용한 대량생산이 가능하도록 함으로써 기존의 개방형 동축 프로브의 소형화에 따른 가격상승에 대한 문제점을 해결하고 마이크로파를 이용한 각종 생-의공학(bio-medical engineering)의 센서로 사용된다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 서울대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-11-24
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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