일반기술
박막 트랜지스터 액정 표시장치의 배선 방법 및 그 구조
본 기술은 데이터 라인과 게이트 라인이 교차되는 영역에서의 유전용량을 감소시킬 수 있는 개선된 배선 방법 및 그 구조, 데이터 라인과 게이트 라인이 교차되는 영역에서 발생되는 신호지연 문제를 해소할 수 있는 개선된 배선 방법 및 그 구조에 관한 것이다. 본 기술은 박막 트랜지스터 액정 표시장치의 배선 방법에 관한 것이다. 본 기술에서는, 박막 트랜지스터를 구동시키는 게이트 라인과 데이터 라인을 형성함에 있어서, 게이트 라인과 데이터 라인이 교차되는 영역에 층간절연막 및 유전율이 낮은 공기층을 형성시킨다. 그 결과 배선의 유전용량이 감소되고, 이에 따라 신호지연 문제가 보다 개선되는 효과가 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
- 보유기관
- 서울대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-11-24
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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