일반기술
다결정 실리콘 박막 트랜지스터 및 그 제조방법
본 기술은 드레인 접합부의 강한 수직 전계로 인해 발생하는 누설전류를 감소시키고 소자의 신뢰도를 향상시키기 위하여 에어-캐비티를 게이트 절연막의 일부로 사용함으로써, 드레인 접합에 유도되는 수직 전계를 완화시키고 종래의 소자와 동일한 구동전류를 나타내며 전계 효과 이동도를 증가시킬 수 있는 다결정 실리콘 박막 트랜지스터 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 기술은 드레인 접합 주변에 유도되는 수직 전계를 완화시켜 강한 전계에 의해 발생하는 누설전류를 감소시킬 수 있을 뿐만 아니라 추가의 마스크 공정 없이 간단한 공정으로 제조할 수 있으며 온-오프 전류비를 향상시킬 수 있다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 반도체 공정 (B63)
- 보유기관
- 서울대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-11-24
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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