일반기술
쇼트키 정류소자 및 그 제조방법
본 기술은 쇼트키 정류소자 및 그 제조방법에 관한 기술이다. 본 기술은 쇼트키정류소자에 관한 것으로, 캐소오드전극에 연결되는 엔형 반도체 기판과 반도체 기판상에 형성된 엔형 에피층과 각각은 에피층의 상부로부터 내부로 신장하도록 형성되고 서로 소정거리 이격되며 애노오드전극과 연결되는 적극막에 공통접속되는 다수개의 피형 불순물영역을 가지는 쇼트키 정류소자에 있어서 피형 불순물영역의 일부를 관통하여 에피층의 내부로 신장하는 트렌치를 형성하고 그 내부를 전극막으로 충전시키며, 트렌치의 하부는 또다른 피형 확산영역에 의해 둘러싸이도록 형성됨을 특징으로 하는 쇼트키 정류소자에 관한 것이다.
기술정보
- 기술분류
- 전기·전자 > 기타 전기/전자
- 보유기관
- 서울대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-11-24
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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