일반기술
박막증착기구의새로운이해에의한박막증착공정개선
이제까지는 박막의 증착이 원자나 분자 단위로 이루어진다고 생각하고 공정최적화를 해왔다. 그러나 미세조직 연구단에서의 연구 결과 대부분 산업에서 사용하는 박막의 증착은 성장단위가 전하를 띤 클러스터 임이 확인 되었다. 따라서 이러한 사실을 이요하여 획기적인 박막증착 공정이 가능하다.1. 클러스터의 크기를 제어하고 전하를 인가함으로써 원하는 박막을 증착 2. 클러스터의 크기를 줄이고 전하를 인가함으로서 에피증착을 개선 3. 각종 박막 공정의 개선
기술정보
- 기술분류
- 기계 > 정보산업장비기술
- 보유기관
- 한국과학기술기획평가원
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-11-24
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
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