일반기술

박막형미소온도센서와박막형미소온도센서의제작방법

본 기술은 스퍼터링을 이용한 박막형 미소온도센서의 제작공정과 상기 공정에 의해 제작된 박막형 미소온도센서에관한 기술이다. 본 기술은 종래의 열전대로 온도를 측정하는 경우에 미소영역의 온도를 쉽게 측정하지 못하는 단점을 개선하고, 종래의 다이오드센서(Diode sensor)나 저항온도검출기(Resistance Thermal Detector, 약칭으로 RTD)와 같이 온도에 따른 전압신호의 캘리브레이션 (Calibration)을 행하는 후공정이 불필요한 박막형 미소온도센서를 제공함에 그 목적이 있다. 또한 본 발명에 의한 박막형 미소온도센서의제작방법은 기존의 다이오드 센서나 저항온도검출기의 제작공정과 달리 아주 단순한 공정을 사용하여 간편하게 제작할 수 있어 시간과 비용을 절감하는 효과가 있다(1) 박막형 미소 온도센서의 제작방법은 1.마스크 제작공정, 2. 실리콘 웨이퍼 표면에 제 1금속 증착공정, 3. 실리콘 웨이퍼 표면에 제 2금속 증착공정으로 3단계로 나누어질 수 있는바, 종래의 다이오드 센서나 저항온도검출기의 제작공정과 달리 그 단계 및 제작비용을 현저하게 절감하며, 공정단계의 축소로 인한 제작공정상의 오차를 줄여 미소온도센서의 제작의 수율을 크게 증대하는 효과가 있다. (2) 박막형 미소온도센서는 열전대를 구성의 주체로 한 미소온도센서로서, 다이오드센서나 저항 온도검출기와 같이 측정온도에 따른 캘리브레이션(Calibration)의 후고정이 전형 필요하지 않고, 단순히 데이터어퀴지션보드에 그 배선을 연결하여 온도신호를 측정할 수 있다. (3) 본 박막현 미소온도센서는 종래의 연전대 온도센서와는 달리 측정하고자 하는 미소영역의 온도를 정확하고 손쉽게 측정할 수 있다. 측정하고자 하는 피측정체의 특성과 측정온도범위에 따라, 단순히 열전대를 구성하는 금속의 종류를 선택 변경하여 제작할 수 있어 그 선택의 폭과 온도측정범위를 보다 광범위하게 할 수 있으며, 측정하고자 하는 피측정체의 미소영역 온도분포의 밀도와 요구되는 정확도에 따라 열전대의 접점의 개수와 접점의 분포를 다양하게 선택할 수 있다.