일반기술

초고주파대역멤브레인MEMS스위치및자유공간빔조절소자

o 40GHz 대역 RF MEMS switch 공정 및 제작 - RF MEMS 소자 개발을 위하여 수치해석과 RF simulation을 통하여 switch의 설계변수를 결정하고, MEMS 공정기술을 이용하여 스위치를 제작할 수 있는 방법을 연구한 후 세부 설계를 진행하였다. 다수의 테스트를 통해 switch의 각 제작공정을 수립하였고 40GHz 대역의 시제품을 제작하여 구동테스트를 마쳤다.1. Membrane MEMS switch의 설계, 제작 및 문제점 - Submillimeter-wave 대역에서 동작하는 membrane MEMS switch 개발을 위하여 수치해석과 RF 특성 해석을 통하여 switch의 설계 변수를 정했다. MEMS 공정기술로 구현이 가능한 세부설계를 진행하였고 시제품을 제작하였다. 그러나 1차년도 membrane MEMS switch의 제작 결과 stiction현상과 열 변형 현상 등의 공정상 치명적인 문제가 발생하였다. 2. CPW type MEMS switch의 설계 및 제작 - Membrane MEMS switch 제작과정에서 드러난 문제점으로 인하여 더 이상 공정을 진행하는 것이 힘들 것으로 판단하여 Switch의 크기가 membrane type에 비하여 작고 membrane 제작이 필요가 없는 CPW type의 MEMS switch로 설계를 변경하였다. 수치해석과 RF 특성 해석을 통하여 설계 변수를 정하였고, 40GHz 대역에서 동작가능한 시제품을 제작하였다. 3. 통신시스템에서의 CPW type MEMS switch의 특성 검증 MEMS 소자의 재료, 기계적인 구동특성을 검증하고 소자의 RF 통신시스템에서의 적응능력을 평가하여 부적합시 설계변경 및 재공정을 수행하였다.