일반기술

초정밀조ㆍ미동위치결정기구의시스템설계및제어기술

초정밀 위치 결정기구 제작은 초정밀 기계가공기술과 센서응용기술, 정밀 측정기술, Laser간섭계 적용기술 등이 복합적으로 요구되는 연구분야이다. 단순한 정밀측정기술이 요구되는 것이 아니라 복합적인 여러 분야의 기술이 필수적이다. 초정밀ㆍ초 미세가공을 바탕으로 위치결정의 고정도화가 요구되고 위치결정기구의 초정밀 구동을 위한 마찰 구동 기구와 안내면의 개발이 필요하다. 더불어 유정압 및 공기정압 안내면 설계기술, 커플링 설계기술, Servo motor 및 Actuator를 사용한 Dual Servo 설계 기술, Laser간섭계 및 광학 해석기술이 필요하다. 이러한 고정도의 위치 및 자세 결정 기술은 차세대 초고밀도 집적회로(ULSI:Ultra Large Integrated Circuit)제조 장치의 일부인 반도체 제조 검사장비용 스테이지의 병진 운동과 회전운동을 동시에 제어할 수 있는 미동기구의 제작과 나노미터급극 미세구조의 위치, 형상, 치수의 어느 것이나 제어성 있게 가공되는 조ㆍ미동 제어기술의 연계개발로 최소한의 변수 이용과 연동제어 방식을 통하여 이를 실용화함으로써 반도체 관련 정보통신분야, 생체공학, 의학 관련분야 등에 적용되는 유연하고 정밀한 작업을 필요로 하는 로봇 산업에 있어서 다양한 응용이 가능하리라 본다. 특히 반도체 노광장비 및 웨이퍼 검사 장비 등의 반도체 분야를 포함하여 초정밀 측정기, 초정밀 가공기 제작 분야에 직접적으로 적용될 수 있는 기술이다.(1) 레이저 피드백 시스템 구축 (2) 서보모터, 볼스크류로 구성된 조동기구와 압전소자, 힌지구조로 구성된 미동기구의 연동제어 구현 (3)PID 제어 및 현대제어 알고리즘을 적용한 최소차원 관측기의 적용으로 본 초정밀위치 결정기구의10㎚ 분해능 구현