일반기술

반사방지막이 형성된 플렉시블한 피이티 기관 및 그 제조방법

본 기술은 평판 디스플레이용 flexible한 플라스틱 기판과 박막층 사이에 buffer 역할 및 반사방지 역할을 할 수 있는 ZnS 박막층 최적화 및 저온(100 이하)용액성장법(chemical bath deposition : CBD)에 관한 것이다. ZnS 박막층은 광조사 파장범위 300nm~1100nm에서 표면반사율을 5%이하의 반사방지 역할을 함으로서, 태양전지 및 기타 발광소자의 높은 광효율을 위한 막으로 사용이 가능하다.대부분의 진공장치를 통한 증착에서 플라스틱 기판의 사용은 온도 제약이 많다. 본 특허에서 제안하는 저온 용액성장법(chemical bath deposition : CBD)은 bath에서 화학량적 배합을 통한 용액속에서 성장함으로써 성장온도를 비교적 낮게 제어 할수 있어서 (<100 ) 성장을 재현성 있게 제어 할수 있고, 비교적 적은 비용으로 대면적의 박막을 성장시킬 수 있다.