일반기술

자장을 이용한 초대면적 플라즈마 발생 장치

냉장형 병렬 안테나를 구비하는 대면적 처리용 유도결합 플라즈마 소오스는 기존의 대면적용 선형 안테나가 극 초대면적으로 확장 시 생길 수 있는 정상파 효과를 없앤 병렬 안테나이다. 이는 기판의 면적이 현재보다 더욱더 커져도 각각의 플라즈마 소오스를 더하거나 보강함으로써 확장성이 가능한 플라즈마 소오스라 할 수 있겠다. 이러한 소오스위에 자장을 인가함으로써 대면적 플라즈마에서 가장 중요한 플라즈마 균일도를 획기적으로 증가시켰다.TFT-LCD 그리고 PDP 등의 초대면적 기판을 기본적으로 사용하는 디스플레이 산업에 있어 고밀도, 고효율, 그리고 높은 플라즈마 균일도를 가진 소오스의 필요성이라는 측면에서 고려해 보았을 때, 본 기술인 자장강화된 외장형 선형 안테나를 구비하는 대면적 처리용 유도결합 플라즈마 소오스는 이러한 산업에 있어 핵심적인 기술중에 하나이며, 기술적인 면에서 대면적화 하기 용이하다