일반기술
자장이 강화된 외장형 선형 안테나를 구비하는 대면적처리용 유도결합 플라즈마 소오스
자장이 인가된 외장형 선형 안테나를 구비하는 대면적처리용 유도결합 플라즈마 소오스는 우선적으로 소면적의 기판에 대하여 플라즈마 처리 공정을 수행할 수 있도록 상대적으로 상호 인덕턴스값이 낮은 외장형 선형 안테나를 이용한다.본 기술에서는 대면적 플라즈마 발생기술에 있어서 종래의 외장형 유도결합 플라즈마가 지니는 문제점 및 내장형 유도결합 플라즈마 소스 기술의 문제점을 동시에 해결하였다.
기술정보
- 기술분류
- 통신 > 안테나
- 보유기관
- 성균관대학교
- 기술유형
- 일반기술
- 등록일
- 2004-11-29
- 데이터 갱신일
- 정보 없음
상세설명
정보 없음
관련 특허
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